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Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung
Verfasser / Komponist: | Kuehn, Michael |
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Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 1997 |
Medientyp: | E-Book Hochschulschrift |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
1997
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