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Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen Vakuumbogenverdampfung

Verfasser / Komponist: Kuehn, Michael
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 1997
Medientyp: E-Book Hochschulschrift
veröffentlicht:
Online-Ausg.. 1997