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Thin films with high surface roughness: thickness and dielectric function analysis using spectroscopic ellipsometry
Verfasser / Komponist: | Lehmann, Daniel |
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beteiligte Personen: | Seidel, Falko [] • Zahn, Dietrich R.T. [] |
Medientyp: | E-Artikel |
veröffentlicht: |
Heidelberg
Springer-Verlag GmbH
Online-Ausg.. 2014 |