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Thin films with high surface roughness: thickness and dielectric function analysis using spectroscopic ellipsometry

Verfasser / Komponist: Lehmann, Daniel
beteiligte Personen: Seidel, Falko [] • Zahn, Dietrich R.T. []
Medientyp: E-Artikel
veröffentlicht:
Heidelberg Springer-Verlag GmbH
Online-Ausg.. 2014